レーザーリフロー PLA-400
標準仕様 | |
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UPH | 24,000ea (PCB Size: 240×77.4mm / 138 ユニット on PCB / グローバル 3 Shot) *UPH depends # of dies or PKG per shot |
ステージ温度 | Max 150℃ (±5℃) ※Pre-Heating |
レーザー出力 | 500 ~ 4,000W |
レーザー保証 | ・Laser Source 5年 ・Laser System 2年 |
ホモジナイザー | レーザーサイズ□30mm ~ 85mm (プログラム可変) |
ワークサイズ | ・Single: L : 100~330mm / W : 62~330mm / Up to 12 inch wafer ・Dual: L : 100~330mm / W : Max 110mm |
搬送方法 | ・基板:シャトル等 ・ウェハ:クリーンロボット |
オプション | |
・レーザープロファイラー ・パワーメーター ・IR カメラ ・反り矯正システム |
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