ディスペンサー APOLLO
Pump | Auger Pump | Piezo Pump |
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Image | ||
制御 | AC Servo Control | Piezo Control |
最少吐出量 | 0.01mg | 0.0013mg |
MODEL | LANE | HEAD | Wet Accuracy | D/P Area | FJetting Frequency | Stage Temperature |
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APOLLO | Single | 1 | ±15μm | 500X480mm | 500Hz(Max) | Max:150±5℃ (Pre-Heat) |
APOLLO-D | Dual | 2 | ±30μm | 310X210mm |
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