MINAMI有限公司

邮政编码183-0026 东京都府中市南町5-38-32
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PLA-400

雷射Reflow PLA-400

特征

  • 低热应力可以焊接
     用光束发射局部加热(基板/晶圆)
  • 实现工件(基板/晶圆)翘曲影响、最小化
     较少的热压力(Bump 照射 : < 1 sec, Die 照射 : < 2 sec)
  • 优良的生产率
     快速焊接: < 1 sec laser emission
     各种光束方法/shot options : 30~85 mm (single/global shot)
  • 节省空间
     轻巧尺寸:约1.5m (以往的回焊炉尺寸:约5m)
  • 低成本
     不需要N2

标准规格
UPH 24,000ea
(PCB Size: 240×77.4mm / 138 Unit on PCB / Global 3 Shot)
*UPH depends # of dies or PKG per shot
台面温度 Max 150℃ (±5℃) ※Pre-Heating
雷射输出 500 ~ 4,000W
雷射保证 ・Laser Source 5年
・Laser System 2年
均质器光束尺寸 □30mm ~ 85mm (程序可变)
适用元件 ・Single: L : 100~330mm / W : 62~330mm / Up to 12 inch wafer
・Dual: L : 100~330mm / W : Max 110mm
搬送方式 ・基板: Shuttle, etc.
・晶圆: Clean robot.
选配
・Beam profiler
・Power meter
・IR Camera
・基板校正机构

外观图

PLA-400外观图

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